隔膜泵
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旋片式真空泵
旋片式真空泵泵內偏心安裝的轉子與定子固定面相切，兩個（或以上）旋片在轉子槽內滑動（通常為徑向）并與定子內壁相接觸，將泵腔分為幾個可變容積的一種旋轉變容積真空泵。通常旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封，所以一般是油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325－1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生產和科研部門。抽速快，體積小，重量輕，噪聲低，維修方便，極限真空度高等優點。
2XZ雙級旋片式真空泵因體積小、質量輕、操聲低優點，所以更適宜于實驗室里使用，還可以用于電真空器件制造、保溫瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷設備修理以及儀器儀表配套等。
2X雙級旋片式真空泵廣泛用于電子器件制造、真空干燥、進濾、浸漬、涂臘、焊接、冶煉、化工、輕工、石油、醫療、制藥、印染、半導體、食品、原子能、紡織等科研機關、大專院校、工礦企業。
XD單級旋片式真空泵適用于密閉系統的抽真空使用，如真空包裝、真空成形、真空吸引。入口壓力范圍100Pa~100000 Pa，超出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生；工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。
X型旋片式真空泵能抽除大量水蒸氣，由于泵本身帶有油再生裝置和可靠的氣鎮裝置，延長了泵油的使用壽命。適用于電子器件制造，真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實驗室裝備等。
W往復式真空泵具有體積小，維修簡單、閥片壽命較長等優點，適宜于在較高壓強范圍內使用，廣泛應用于化工或食品工業中的真空蒸餾、蒸發、結晶、干燥和過濾，真空冶金工業中的除氣，電氣工業上的浸滲等。